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扩散硅压力变送器技术特点

更新时间:2011-10-13 浏览次数:1288

  1、 灵敏度高

  扩散硅敏感电阻的灵敏因子比金属应变片高50~80倍,它的满量程信号输出在80-100mv左右。对接囗电路适配性好,应用成本相应较低。由于它输入激励电压低,输出信号大,且无机械动件损耗,因而分辩率*。

  2、 可靠性高

  扩散硅敏感膜片的弹性形变量在微应变数量级,膜片zui大位移量在来微米数量级,且无机械磨损,无疲劳,无老化。平均*时间长,性能稳定,可靠性高。

  3、 精度高

  扩散硅压力传感器的感受、敏感转换和检测三位一体,无机械动件连接转换环节,所以不重复性和迟滞误差很小。由于硅材料的刚性好莱坞,形变小,因而传感器的线性也非常好。因此综合表态精度很高。

  4、频响高

  由于敏感膜片硅材料的本身固有频率高,一般在50KC。制造过程采用了集成工艺,膜片的有效面积可以很小,配以刚性结构前置安装特殊设计,使传感器频率响应很高,使用带宽可达零频至100千赫兹。

  5、 抗电击穿性能好

  由于采用了特殊材料和装配工艺,扩散硅传感器不但可以做到130℃正常使用,在强磁

  场、高电压击穿试验中可抗击1500V/AC电压的冲击压力变送器。

  6、 度性能好

  随着集成工艺技术进步,扩散硅敏感膜的四个电阻一致性得到进一步提高,原始的手工

  补偿已被激光调阻、计算机自动休整技术所替代,传感器的零位和灵敏度温度系数已达10-5

  /℃数量级,工作温度也大幅度提高。

  7、 耐腐蚀性好

  由于扩散硅材料本身优良的化学防腐性能好,即使传感器受压面不隔离,出能在普通使

  用中适应各种介质。硅材料又与硅油有良好的兼容性,使它在采用防腐材料隔离时结构工艺更易于实现。加之它的低电压、低电流、低功耗、低成本和本质安全防爆的特点,可替代诸多同类型的同功能产品,具有*良的性能价格比。


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